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半导体设备真空泵常见故障分析及维修第44-45页
关键词: 半导体设备真空泵  设备维修  故障分析  旋片泵  分子泵  低温泵  
2020年第05期 《设备管理与维修》
普发真空无锡新工厂开业 发力中国市场开启新征程第20-20页
关键词: 真空技术  质谱检漏仪  涡轮分子泵  罗茨泵  真空计  旋片泵  泄漏检测  微流量  
2019年第33期 《现代制造》
我国真空获得设备的现状和发展第16-17页
关键词: 真空获得设备  真空泵  气体捕集型  气体输送型  旋片泵  滑阀泵  罗茨泵  水环真空泵  
2004年第02期 《通用机械》
关于空调生产使用旋片式真空泵的寿命研究第52-54页
关键词: 真空泵  旋片泵  真空泵油  寿命  可靠性  
2016年第12期 《家电科技》
硅片真空夹紧装置设计第36-39页
关键词: 真空夹具  si片  微型泵  旋片泵  
2006年第02期 《真空电子技术》
一种新型旋片真空泵定子型线的研究第107-109页
关键词: 真空泵  旋片泵  定子型线  
2011年第01期 《甘肃科学学报》
第十六讲 真空系统的操作与维护第85-88页
关键词: 真空系统  维护  操作  清洗液  金属机件  旋片泵  大修  零件  
2009年第03期 《真空》
适合工业应用的高性能真空泵第36-36页
关键词: 真空泵  工业应用  性能  安捷伦科技公司  安捷伦公司  旋片泵  产品  
2012年第09期 《军民两用技术与产品》
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