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8英寸大直径
区熔硅单晶
在津投入试生产
第67-67页
关键词: 区熔硅单晶 试生产 大直径 半导体公司 产品质量 节能材料 垂直整合 芯片制造
2012年第04期
《有色设备》
气相掺杂
区熔硅单晶
及其生产技术
第18-19页
关键词: 区熔硅单晶 生产技术 气相掺杂 国家知识产权局 技术创新成果 自主知识产权 生长工艺 发明专利
2008年第04期
《中国集成电路》
线圈台阶对
区熔硅单晶
生长影响的数值计算分析
第144-147页
关键词: 区熔硅单晶 数值模拟 线圈台阶
2009年第02期
《中国电子科学研究院学报》
区熔(FZ)硅单晶气相掺杂电阻率的理论计算
第456-460页
关键词: 气相掺杂 区熔硅单晶 电阻率
2013年第03期
《人工晶体学报》
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