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石英晶体离子刻蚀微调原理与应用第74-75页
关键词: 石英晶体  离子刻蚀  离子枪工作原理  频率  放电  
2010年第14期 《中国高新科技》
石英晶体离子刻蚀微调原理与应用第74-75页
关键词: 石英晶体  离子刻蚀  离子枪工作原理  频率  放电  
2010年第14期 《中国高新技术企业》
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