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通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文)
第296-300页
关键词: 激光技术 krf准分子激光器 气体分压优化 气体混合物 缓冲气体
2016年第03期
《量子电子学报》
248nm高反膜抗激光损伤性能
第77-80页
关键词: 248 nm krf准分子激光器 高反膜 激光损伤 保护层
2014年第08期
《强激光与粒子束》
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