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通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文)第296-300页
关键词: 激光技术  krf准分子激光器  气体分压优化  气体混合物  缓冲气体  
2016年第03期 《量子电子学报》
248nm高反膜抗激光损伤性能第77-80页
关键词: 248  nm  krf准分子激光器  高反膜  激光损伤  保护层  
2014年第08期 《强激光与粒子束》