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立式合成炉设计探讨第24-25页
关键词: 立式合成炉  纳米材料  加热器  工艺腔室  气体控制系统  收料装置  
2016年第08期 《中国高新科技》
立式合成炉设计探讨第24-25页
关键词: 立式合成炉  纳米材料  加热器  工艺腔室  气体控制系统  收料装置  
2016年第08期 《中国高新技术企业》
工艺腔室温度场轮廓特性分析及传热结构设计第103-109页
关键词: 工艺腔室  低压传热  温度轮廓  结构设计  
2016年第01期 《真空科学与技术学报》
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