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高纯半绝缘4H-SiC单晶研究进展第69-72页
关键词: 半导体材料  高纯半绝缘  单晶生长  
2019年第05期 《科技创新与生产力》
3英寸高纯半绝缘6H-SiC单晶的研制第432-435页
关键词: 物理气相传输法  高纯半绝缘  氮掺杂  碳空位  
2011年第04期 《中国电子科学研究院学报》
SiC外延衬底研究现状及其应用前景第253-257页
关键词: sic外延层  导电衬底  高纯半绝缘  
2014年第05期 《电子工艺技术》
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