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期刊收录
出版地区
蹦床谐振器感知极弱的机械力第394-394页
关键词: 蹦床  光学性能  量子物理学  交叉领域  氮化硅膜  原子组成  量子行为  候选者  引力波  硅衬底  
2016年第06期 《物理》
太阳能电池PECVD工艺参数对生长氮化硅薄膜影响的研究第14-15页
关键词: pecvd  工艺参数  氮化硅膜  太阳能电池  
2013年第02期 《中国高新科技》
晶硅太阳电池多层减反射膜设计与分析第483-485页
关键词: 晶硅太阳电池  pc1d仿真  氮化硅膜  减反射  
2019年第03期 《电源技术》
薄窗型多阳极气体探测器研究进展第385-389页
关键词: 氮化硅膜  低能离子  气体探测器  
2018年第06期 《同位素》
用于测量温度的红外探测元件第4-4页
关键词: 探测元件  测量温度  红外  结构层  氮化硅膜  内部应力  拉伸方向  弯曲现象  环境变化  
2005年第09期 《红外》
陕西有色光电科技公司氮化硅薄膜沉积工艺取得突破第22-22页
关键词: 沉积工艺  光电科技  氮化硅薄膜  陕西  太阳能电池  最优工艺条件  pecvd  氮化硅膜  
2017年第18期 《中国有色金属》
太阳能电池PECVD工艺参数对生长氮化硅薄膜影响的研究第14-15页
关键词: pecvd  工艺参数  氮化硅膜  太阳能电池  
多彩太阳电池的制备及性能研究第107-109页
关键词: 太阳电池  减反射膜  氮化硅膜  pecvd  开路电压  短路电流  
光学设备检测氮化硅膜第33-35页
关键词: pecvd  氮化硅膜  光学检测系统  
2010年第11期 《电子与封装》
基板支撑梢对TFT栅界面SiNx和a—Si成膜特性的影响第613-617页
关键词: 等离子体增强化学气相沉积法  基撑梢  氮化硅膜  氢化非晶硅膜  傅里叶红外分析  
2012年第05期 《液晶与显示》
薄膜晶体管透明电极铟锡氧化物雾状不良的分析研究第355-360页
关键词: 铟锡氧化物  薄雾不良  边缘场开关薄膜晶体管  等离子体化学气相沉积  氮化硅膜  透过率  
2014年第03期 《液晶与显示》