关键词: 纳米技术  纳米光刻  纳米结构制作  纳米光刻技术  现状与进展  纳米结构器件  极紫外光刻技术  电子束光刻技术  纳米加工技术  集成电路  

2005年第03期 《世界科技研究与发展》

关键词: 电子束光刻技术  纳米结构  研究人员  德国  计算机数据处理  利用  材料测试  银  

2017年第17期 《军民两用技术与产品》

关键词: 电子束光刻技术  原理  进展  

2007年第01期 《真空与低温》

关键词: 低成本制造  晶体管  挠性  性能  电子束光刻技术  威斯康星大学  可重复使用  光致抗蚀剂  

2016年第06期 《印制电路信息》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  北京时间  

2012年第05期 《光学仪器》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  研究人员  

2012年第05期 《功能材料信息》

关键词: 塑料薄膜  非晶硅  开发  能源  荷兰  电子束光刻技术  半导体行业  微晶硅薄膜  

2010年第04期 《新材料产业》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  物理学家  

2012年第09期 《中国集成电路》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  研究人员  

2012年第08期 《电子工业专用设备》

关键词: 半导体纳米晶体  晶体薄膜  过程开发  无缺陷  电子束光刻技术  美国麻省理工学院  研究人员  光学性质  

2012年第17期 《中国科技信息》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  研究人员  

2012年第12期 《新材料产业》

关键词: 晶体薄膜  过程开发  半导体  无缺陷  纳米  美国麻省理工学院  电子束光刻技术  研究人员  

2013年第04期 《电子产品可靠性与环境试验》

关键词: 电子束光刻技术  icp刻蚀技术  研究  

2015年第24期 《电子技术与软件工程》

关键词: 下一代光刻技术  纳米压印光刻技术  极紫外光刻技术  无掩模光刻技术  原子光刻技术  电子束光刻技术  

2015年第13期 《科技与企业》