作者：耿磊; 陈勇纳米技术纳米光刻纳米结构制作纳米光刻技术现状与进展纳米结构器件极紫外光刻技术电子束光刻技术纳米加工技术集成电路
摘要：随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础.纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景.文章介绍了几种极有潜力的下一代纳米光刻技术,包括极紫外光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印光刻技术的新途径、发展现状和关键问题,最后讨论了纳米光刻技术的应用前景.
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《世界科技研究与发展》（CN：51-1468/N）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《世界科技研究与发展》面向当代基础学科前沿研究和世界各国科技政策与科研管理的国际性综合科技期刊。是中国科学引文数据库（CSCD）和中国科技优秀期刊 （CSTPC）的源期刊。
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