作者：马修水; 费业泰; 陈晓怀; 李桂华; 权继平光栅纳米测量双光栅测量系统炫耀光栅误差修正技术二次莫尔条纹
摘要：概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。
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《制造技术与机床》（CN：11-3398/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《制造技术与机床》2008-2009年度全国广告行业文明单位；2007年获机械工业期刊质量评审一等奖；2005年北京市职工数控技能大赛"最佳媒体宣传"奖；第三届（2002年）中国科学技术协会所属优秀科技期刊三等奖；第二届（1997年）中国科学技术协会所属优秀科技期刊三等奖；国家机械工业部1993-1994年度优秀科技期刊一等奖；1990-1992年度北京市广告协会颁发的 "重信誉、...
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