滚珠丝杠运动平台硅片半导体组件模块化标准化
摘要：滚珠丝杠运动平台已逐渐广泛应用于晶圆(即硅片)和IC半导体组件的运送装置.本产品开发的主要目的是将一轴直线运动平台模块化、标准化,而使用者可根据作业内容的需要选择适当的型式及行程,组成不同的结构,以满足顾客快速、低成本的需求,维系顾客在产品市场上的竞争优势.
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《制造技术与机床》（CN：11-3398/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《制造技术与机床》2008-2009年度全国广告行业文明单位；2007年获机械工业期刊质量评审一等奖；2005年北京市职工数控技能大赛"最佳媒体宣传"奖；第三届（2002年）中国科学技术协会所属优秀科技期刊三等奖；第二届（1997年）中国科学技术协会所属优秀科技期刊三等奖；国家机械工业部1993-1994年度优秀科技期刊一等奖；1990-1992年度北京市广告协会颁发的 "重信誉、...
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