作者：贺红林; 余九; 凌普; 胡聪睿振动与波十字压电振子平面电机驱动机理动力学设计运行特性
摘要：提出十字形压电振子同型模态驱动的压电平面电机新原理，选定该振子的面外弯振、面内横杆弯振、面内纵杆弯振为工作模态，利用面外弯振分别与面内纵杆弯振、面内横杆弯振的振动耦合，在纵、横杆驱动足上生成沿xOz、yOz面行进的椭圆轨迹以推动动子沿x、y向移动。阐明电机驱动原理，优化出振子尺寸为60mm×60mm×7.8mm，厘定电机最适驱动频率为30127Hz。建立振子机电耦合模型，研究驱动足的振动特性，模拟出驱动足的椭圆轨迹，仿真得到在250V电压激励时驱动足的x、y、z向振幅分别为1.6μm、1.6μm和1.2μm。建立电机的整机分析模型，探析驱动电压、频率、相位差、预紧力对电机速度的影响。在正常驱动条件下，电机速度可达50mm/s。该电机在平面装置驱动中的应用前景广泛。
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