作者：李荣强; 谢正旺; 曾鹏双层多晶硅自对准pnp互补双极
摘要：通过仿真与实验设计出了一种高性能的双层多晶硅自对准PNP晶体管工艺流程，分析了关键工艺技术，器件性能达到fT=8.5GHz，β-60，BvCEO=8V。该工艺与已有的双层多晶硅自对准NPN晶体管工艺相兼容，可用于制造高性能的互补双极电路。
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