扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用

作者：杨显; 胡建军; 郭宁; 何川; 张雨晴; 王静扫描电子显微镜成像模式金属材料二次电子背散射电子

摘要：介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的3种信号探测器,分析了扫描电子显微镜成像技术中二次电子（SE）和背散射电子（BSE）信号与金属材料表面形貌、原子序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火态球墨铸铁组织表征以及热扩渗40Cr钢渗层组织研究为例,详细阐述了普通SE、高分辨二次电子（In-Lens）及BSE三种成像模式在金属材料研究中的应用特点及选用。

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