作者：罗艳; 王魁波; 吴晓斌真空材料放气分率
摘要：水蒸气（H2O）和碳氢化合物（CxHy）的放气分率是评价极紫外光刻机（EUVL）真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,本文仅采用1个四极质谱计,设计了一种EUVL真空材料评价装置。采用该装置测试了碳纤维增强树脂基复合材料层压板（CFRP板）和玻璃陶瓷板（GC板）在不同时间的放气组分、总放气率和放气分率。结果表明,CFRP板放出大量的H2O和CxHy;虽然CxHy放气分率比H2O下降快,但经10h抽真空后,CFRP板仍可放出大量CxHy,且其总放气率高于经验阈值;GC板置于真空1h后就不再放出CxHy,且其总放气率低于经验阈值;因此GC板比CFRP板更适用于极紫外光刻机真空系统。基于单质谱的放气分率测试方法可用于指导极紫外光刻机真空材料的选择。
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