电子工业洁净室工艺排气检测及调试

作者：翟传明; 章忠飞; 王娟娟; 苏乃硕; 闻义; ...电子工业洁净室排气检测与调试

摘要：工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行。

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