电子工业洁净室的洁净度关键影响因素及解决方案探讨

作者：章忠飞; 翟传明; 李晨; 苏乃硕; 田炳欢; ...电子洁净室洁净度影响因素解决方案

摘要：电子厂房洁净室作为一个庞大而复杂的系统,会导致其洁净度不合格的因素很多。为了保持洁净室洁净度水平,应定期进行洁净检测,并通过人员、设备和物品等制度建设管理,保障电子工业洁净室稳定生产。

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