玻璃磁控溅射镀膜生产线设计

作者：田晓娟磁控溅射镀膜沉积速率工作气体气压

摘要：为实现用真空磁控溅射镀技术对玻璃进行连续式镀膜，设计了一条基于PLC的自动化生产线。在精确控制镀膜时间和靶电流，保持电压不变的条件下，通过闭环控制实现镀膜室的工作气体气压恒定控制，从而得到稳定的沉积速率，最终在实验中利用真空磁控溅射镀膜方法制备出分布均匀，附着性强和特定厚度的膜层。通过上位机软件对参数值进行最优控制．在提高沉积速率的同时实现了玻璃大批量深加工的目的。

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