作者：郭庆鼎; 赵希梅透射光栅莫尔条纹光电元件计量光栅位置检测装置读数头栅距线纹硅光电池刻线
摘要：3.5光栅光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置,有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密,两刻线之间距离(称为栅距)在0.002～0.005mm 之间,它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗,栅距在0.004～0.025mm 之间,在数字检测系统中,通常用于高精度位移的检测,是数控系统中应用较多的一种检测装置,尤其是在闭环伺服系统
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