作者：白傲; 汪建华; 何硕; 熊刚; 周程; 梁天微波等离子体化学气相沉积纳米金刚石薄膜气压
摘要：利用微波等离子体气相沉积法,以氢气、氩气、甲烷为气源,在20~26kPa,碳源浓度0.3%~1%条件下,通过改变气压与碳源浓度来制备纳米金刚石薄膜。运用Raman、SEM、XRD分别表征纳米金刚石薄膜的质量、表面形貌、晶粒大小。结果表明随着气压升高,沉积速率越快,薄膜质量先升高后降低。在一定气压范围内可以通过增大气压减少碳源浓度,能获得相对高质量的纳米金刚石薄膜。
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