作者：卢耀文; 张涤新; 冯焱; 郭美如; 成永军; ...四极质谱计分压力灵敏度线性
摘要：四极质谱计是一种分压力测量仪器，其线性上限一般为10^-3Pa。通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析，得到高压力下的分压力计算方法，并通过实验验证了该方法的可行性，得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
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