作者：王茂祥; 孙平磁控溅射电滞回线铁电性
摘要：采用磁控溅射法制备了PST薄膜，讨论了其制备工艺并着重对其电滞回线进行了测试分析。从测试结果来看，其饱和极化强度Ps典型值为19．0μC／cm^2,剩余极化强度为6．6μC／cm^2,矫顽场强为16kV／cm，热释电系数为10^-4量级。表明所制备的PST薄膜具有较好的铁电性能。
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