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静电悬浮加速度计敏感结构的热噪声分析

作者:王佐磊; 薛大同; 唐富荣静电悬浮加速度计热噪声辐射计效应热辐射压力气体黏滞阻力

摘要:分析了影响静电悬浮加速度计分辨率的辐射计效应、热辐射压力、气体黏滞阻力3种热加速度噪声的产生机理,定量分析了一定条件下3种热噪声的影响,提出了通过温控减小加速度计质量块周围的温度梯度,以及提高加速度计敏感结构内部真空度等措施,以减小加速度计的热噪声.对用于低低卫-卫跟踪(SST-LL)重力测量的静电悬浮加速度计(其在10-4~10-1Hz的测量频带内精度为1×10-9m·s-/√Hz),如果加速度计敏感结构内部的真空度为5 ×10-4pa,则敏感结构周围的温度噪声必须控制在0.K/√Hz以内.

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真空与低温

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