作者：程春晓; 姚宁; 马丙现; 杨仕娥; 赵永梅; ...金刚石薄膜过渡层基底铝铜钼钛化学气相沉积raman谱xrd分析膜基结合力实验证明sem化合物
摘要：采用钛-铝-钼过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积.用SEM和Raman谱研究了薄膜的形貌和质量.用XRD分析了膜基间形成的化合物的成分,并进一步分析了铝的存在对膜基结合力的影响.实验证明,钛-铝-钼过渡层的存在显著提高了金刚石薄膜与铜基底的结合力.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《真空与低温》（CN：62-1125/O4）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《真空与低温》是《中国优秀期刊(遴选)数据库》收录期刊,中国科技优秀期刊《中国学术期刊(光盘版)》入网期刊,《中国导弹与航天文摘》,《万方数据--数字化期刊群》入选期刊。
北大期刊
人气 17126 评论 49
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 16042 评论 41
部级期刊
人气 14941 评论 51
人气 13991 评论 43
