作者：梁耀廷; 崔敬忠; 达道安; 刘向; 李智氧化钒薄膜薄膜性能沉积参数磁控反应溅射光电特性特性研究xrd膜制备afm敏感
摘要：用磁控反应溅射法制备出具有红外敏感特性的氧化钒薄膜,进行了薄膜光电特性的测试.通过AFM和XRD对薄膜的结构和特性进行分析研究,并给出了沉积参数对薄膜性能的影响.
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《真空与低温》（CN：62-1125/O4）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《真空与低温》是《中国优秀期刊(遴选)数据库》收录期刊,中国科技优秀期刊《中国学术期刊(光盘版)》入网期刊,《中国导弹与航天文摘》,《万方数据--数字化期刊群》入选期刊。
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