作者：苟继涛; 赵睿鹏; 徐一鲡; 贺冠园; 陈然; ...窄流道金属有机化学气相沉积高温超导带材
摘要：金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导层。但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超导带材的成本居高不下。本文提出了一种新的窄流道式反应室以改进薄膜沉积的一致性。在200 mm长度腔体中沉积的280 nm厚的Y0.5Gd0.5Ba2Cu3O7-x薄膜Jc分布在3.2~3.5 MA/cm2(77 K,0 T),面外、面内半高宽值分别在1.39°~1.49°和1.88°~2.13°,表面平整致密。YBCO薄膜良好的一致性表明该窄流道反应室对制备YBa2Cu3O7-x超导带材有好的实用性。
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