作者：石澎; 张功; 张于帅; 王丽荣薄膜带通滤光膜谐振腔耦合层
摘要：光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式。光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高性能的带通滤光膜进行了研制。采用离子束溅射技术,以Ta2O5和SiO2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题。制备的带通滤光膜在1528~1571 nm处插入损耗小于0.2 dB,1470~1521 nm和1578~1651 nm处透射隔离度大于40 dB,满足实际使用要求。
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