作者：王权; 王波; 刘云辉; 张天一等离子体直流放电朗缪尔探针电子密度击穿电压
摘要：利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法，研究了细长石英管内的低气压直流放电行为，探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明：通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度，且当放电气压为100Pa时，电子密度最大，本装置所测最大密度为1．03×lO^17m^-3；电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小；放电距离越远，对击穿电压要求越高，分段式放电可以在较低的放电电压下，对较远的电极距离实现直流放电。
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