作者：王晓婧; 刘艳红; 冯硕; 李怀林磁控溅射锆合金结合力高温水蒸气氧化
摘要：通过直流磁控溅射方法在锆合金基体表面沉积cr涂层，再在cr层上射频磁控溅射制备SiC涂层，探索了基体预处理方式、射频溅射功率对涂层结合力、厚度和表面质量的影响。采用扫描电镜及能谱仪，红外光谱和X射线衍射仪对SiC／CT复合涂层样品进行成分分析，结果表明所制备的涂层cr层为晶态，SiC层为非晶态。高温水蒸汽氧化实验表明cr作为锆合金与SiC涂层之间的过渡层，不仅能够缓解SiC层和锆合金基体的热膨胀系数差异，提高涂层结合力，还能增加涂层的延展性，减少基体在高温水蒸气环境下的氧化和断裂。
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