作者：徐相英; 王恩青; 李朋; 谷文翠; 黄峰; 李...非晶涂层ti含量硬度耐蚀性能
摘要：为了消除磁控溅射涂层的柱状晶结构,提高Ti-B基涂层的耐蚀防护性能。采用磁控溅射技术,通过成分调控和工艺调控,获得了不同Ti含量的非晶Ti-B涂层。利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪、电化学工作站对涂层的结构和性能进行了分析。结果表明：所获得的不同Ti含量的涂层分别是44.5%,51.6%,55.3%（原子比）;三种涂层均为非晶生长结构,XRD图线形状和变化趋势均相似;截面形貌差异不大,都为均匀致密的平滑结构。随着Ti含量的增加,Ti-B涂层的硬度逐渐减小,最小硬度为25.9 GPa,仍属于硬质涂层;涂层的塑性指数逐渐增大,最大为0.56。三种Ti含量的涂层对于基材SS304都具有耐蚀保护作用;随着Ti含量的增加,涂层的耐蚀性能逐渐提高,最小腐蚀电流密度为1.49×10^-7A/cm^2,比基材降低了大约1个数量级。通过研究,获得了综合性能较高的非晶二元系耐蚀硬质TiB基涂层。
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