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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2016年第10期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志结构薄膜
微纳尺度TiN多层薄膜/涂层力学性能研究进展第1085-1091页
关键词: tin;  纳米多层薄膜;  超硬机理;  超硬性;  摩擦磨损;  断裂韧性;  
射频反应磁控溅射制备AlN多晶薄膜及其择优取向研究第1092-1098页
关键词: aln;  薄膜;  择优取向;  红外吸收光谱;  rf;  反应磁控溅射;  
Ni含量对CrNiTiN涂层微观结构及摩擦磨损性能的影响第1099-1106页
关键词: 非平衡磁控溅射;  crnitin涂层;  ni含量;  微观结构;  摩擦磨损;  
Si含量对VSiN涂层的结构、力学性能和摩擦磨损性能影响第1107-1111页
关键词: 磁控溅射;  vsin涂层;  微结构;  力学性能;  摩擦性能;  
退火温度对W-DLC薄膜结构与摩擦学性能的影响第1112-1118页
关键词: w掺杂的类金刚石薄膜;  退火温度;  氧化;  摩擦磨损;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
基于光敏BCB工艺的InP基器件性能的研究第1119-1123页
关键词: bcb介质工艺;  trl校准件;  微带无源器件;  毫米波;  
多级降压收集极过渡区磁系统的计算及优化第1124-1130页
关键词: 多级降压收集极;  过渡区磁场;  回收效率;  总效率;  mtss;  ansoft;  axwell3d;  
基于电场影响域的真空灭弧室复杂网络拓扑结构研究第1131-1135页
关键词: 复杂网络;  真空灭弧室;  电场影响域;  蒙特卡罗方法;  
用于可见光通信的GaN基LED研究进展第1136-1143页
关键词: 发光二极管;  频率响应;  效率下降;  可见光通信;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
Si衬底表面圆柱孔形抗反射周期微结构的设计及制造第1144-1148页
关键词: 抗反射结构;  反应离子刻蚀;  严格耦合波分析;  圆柱孔微结构;  
AISI 420F不锈钢表面等离子渗Zr层组织及性能研究第1149-1155页
关键词: 等离子表面合金化;  马氏体不锈钢;  组织;  碳化锆;  硬度;  摩擦磨损;  
LIPS200离子推力器羽流污染地面试验研究第1156-1161页
关键词: 离子推力器;  羽流;  溅射沉积;  污染试验;  石英微量天平;  
PIII中工作气压和占空比优化关系的数值研究第1162-1168页
关键词: 等离子体浸没离子注入;  多脉冲鞘层;  流体模型;  工作气压;  占空比;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
机械密封与磁性液体组合密封流体动压效应的研究第1169-1174页
关键词: 流固耦合;  有限元;  密封性能;  波度;  锥度;  
13X分子筛吸附性能及其比表面积的研究第1175-1179页
关键词: 真空绝热压力容器;  13x分子筛;  吸附等温线;  比表面积;