真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2015年第06期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志工艺设备

容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究第639-645页

关键词: 容性耦合等离子体；  放电参数；  氩气放电；  射频放电特性；  

用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布第646-649页

关键词: 等离子体；  langmuir探针；  发射光谱；  诊断；  

基于PEM和模糊PI的反应磁控溅射非线性控制方法第650-656页

关键词: 反应磁控溅射；  真空镀膜；  模糊控制；  pid；  迟滞效应；  

应用于等离子体破裂防护的双涡流驱动快速充气阀的研制第657-661页

关键词: 等离子体破裂缓解；  双涡流驱动；  快速充气阀；  预紧系统；  east；  

多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析第662-670页

关键词: 机械式旋转磁控弧源；  旋转不对称偏心轴向磁场；  旋转偏心横向磁场；  旋转偏心四极对顶磁场；  旋转偏心拱形磁场；  

真空科学与技术学报杂志真空治炼

高碳锰铁预氧化-真空脱碳制备低碳锰铁热力学分析及实验研究第671-677页

关键词: 高碳锰铁；  低碳锰铁；  碳含量；  

TiO2真空碳热反应及可溶性TiO阳极电解过程研究第678-684页

关键词: 真空碳热还原；  tio2；  可溶性阳极；  tio；  钛铁合金；  

气相合金化制备镁锌二元合金的研究第685-688页

关键词: 气相合金化；  镁合金；  蒸发冷凝；  

氧化铝真空碳热还原氯化歧化过程中二氯化铝行为研究第689-695页

关键词: 从头算分子动力学；  热力学；  碳热氯化反应；  歧化反应；  alcl2；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

Ti6Al4V磁控溅射沉积Ti-Ag-（N）薄膜及其抗菌性的研究第703-709页

关键词: 钛合金；  ti6al4v；  薄膜；  抗菌性；  

真空蒸镀Ag_2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性研究第710-713页

关键词: 真空蒸镀；  高密度聚乙烯；  抗菌性；  保鲜；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

磁控溅射V-Al-Ta-N四元涂层结构和性能研究第719-725页

关键词: 磁控溅射；  微观结构；  力学性能；  摩擦磨损；  

梯度纳米硬质涂层内部应力的有限元分析第726-731页

关键词: 硬质涂层；  弹性模量；  有限元分析；  残余应力；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

电泳沉积法制备热子氧化铝绝缘层第732-736页

关键词: law；  电泳沉积；  电压；  沉积时间；  氧化铝；  

星载行波管高效率、高可靠阴极热子组件研究第737-743页

关键词: 阴极热子组件；  热效率；  可靠性；  小型化；