真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2015年第05期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

宇宙真空学的发展第515-527页

关键词: 宇宙真空；  行星大气；  大气逃逸方程；  火星水；  月球水；  

基于思维进化神经网络的真空绝热板真空度测量精度改进方法研究第528-532页

关键词: 真空绝热板；  真空度；  matlab；  bp神经网络；  思维进化算法；  

基于控制律重组的双级滑阀真空泵故障诊断算法研究第533-537页

关键词: 控制律重组；  信息提取；  双极滑阀真空泵；  数据训练；  故障诊断；  

隔气结构膜对真空绝热板热工性能及使用寿命的影响第538-543页

关键词: 真空绝热板；  隔气结构；  导热系数；  使用寿命；  分析模型；  

真空条件下除湿溶液再生的模拟与实验研究第544-549页

关键词: 真空条件；  溶液再生；  除湿剂；  蒸发率；  

高真空多层绝热储罐中微热型复合吸附剂吸附氢气的实验研究第550-555页

关键词: 吸氢剂；  吸气剂；  吸氢等温线；  真空储罐；  

固体润滑轴承用9Cr18不锈钢离子注入与磁控溅射改性真空摩擦学研究第556-559页

关键词: 离子注入；  真空摩擦；  

取样管道对分子流气体分压力测量的影响第560-564页

关键词: 质谱分析；  分压力测量；  取样管道；  稳定时间；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响第565-569页

关键词: 电感耦合等离子体；  容性耦合等离子体；  郎缪尔探针；  离子密度；  电子温度；  

ICP刻蚀4H-SiC栅槽工艺研究第570-574页

关键词: 微掩膜；  感应耦合等离子体；  碳化硅；  栅槽；  微沟槽效应；  

丙烷浓度对45钢离子碳氮共渗的影响第580-583页

关键词: 丙烷；  离子碳氮共渗；  显微组织；  45钢；  

直线等离子体装置中氩等离子体热负荷特性研究第584-588页

关键词: 热负荷；  热效率；  功率；  流量；  磁场；  

工作气压对多脉冲鞘层动力学行为的影响第589-593页

关键词: 等离子体浸没离子注入；  多脉冲鞘层；  等离子体扩散；  流体模型；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB_2基涂层结构及力学性能的影响第594-600页

关键词: 磁控溅射；  tib2涂层；  金属掺杂；  断裂韧性；  摩擦磨损；  

退火温度对DLC膜热稳定性及摩擦学性能的影响第601-607页

关键词: 类金刚石膜；  退火温度；  摩擦学性能；  raman光谱；