真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2013年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

15-5PH不锈钢基体上硬质膜层制备及性能研究第197-202页

关键词: 多弧；  tin；  维氏硬度；  结合力；  

磁过滤阴极电弧技术沉积高sp~3键含量四面体非晶碳薄膜的工艺优化研究第203-207页

关键词: 四面体非晶碳；  拉曼光谱；  sp3键；  基片偏压；  磁过滤器电流；  

涂层结构对Ti-Al-N涂层氧化行为的影响第208-213页

关键词: 涂层结构；  多弧离子镀；  微观结构；  氧化行为；  

硬质合金表面TiAlZrCr/（Ti,Al,Zr,Cr）N梯度膜的微结构与力学性能第214-218页

关键词: 梯度膜；  多弧离子镀；  硬质合金；  显微硬度；  结合强度；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

Ka波段滤波器加载三间隙耦合腔输出回路的仿真和测试第219-223页

关键词: 速调管；  三间隙耦合腔输出回路；  微波网络；  间隙阻抗；  

覆Os膜M型阴极高发射性能随真空度变化的研究第224-227页

关键词: m型阴极；  os膜；  真空度；  电子发射；  机理；  

气体电子倍增器透过率和增益特性的研究第228-234页

关键词: 气体电子倍增器；  电子透过率；  增益；  garfield；  

休斯型耦合腔慢波结构正向设计初步研究第235-239页

关键词: 正向设计；  高效率；  总阻抗；  耦合腔行波管；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

不锈钢双极板表面Cr与Cr_2N镀层导电与耐蚀性研究第240-244页

关键词: 质子交换膜燃料电池；  不锈钢双极板；  磁控溅射；  接触电阻；  耐蚀性能；  

掺钼氧化锌薄膜的发光特性第245-248页

关键词: 钼掺杂；  氧化锌；  微结构；  光致发光；  退火；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

不同本底压力下离子推力器电子反流失效的数值模拟第253-256页

关键词: 本底压力；  电子反流；  数值模拟；  工作寿命；  

不同间隙条件下同轴型介质阻挡放电的模拟与实验研究第257-261页

关键词: 介质阻挡放电；  一氧化氮；  同轴型；  数值模拟；  间隙大小；  

多层等离子体蚀刻技术的研究第262-266页

关键词: 多层等离子体蚀刻技术；  刻蚀速率；  均匀性；  光阻；  

真空科学与技术学报杂志太阳能利用技术

Ⅱ-Ⅵ族材料在叠层太阳能电池中的应用第271-276页

关键词: 叠层太阳能电池；  单极性半导体；  掺杂；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

低出口压力下喷嘴内部空化流动模拟分析第277-283页

关键词: 平口喷嘴；  空化；  fluent模拟；  真空喷射法；