HI,欢迎来到学术之家,发表咨询:400-888-7501  订阅咨询:400-888-7502  股权代码  102064
0

扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用

作者:张隐奇; 吉元; 田彦宝; 付景永; 徐学东; ...扫描电镜电子镜非导电材料表面电势

摘要:观察非导电样品在扫描电镜(SEM)中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件,监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明,当Es达到7kV~9kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ≌1,Es≌4kV,及Ia≌0时,形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2,以及评价非导电样品导电性能。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

真空科学与技术学报

《真空科学与技术学报》(CN:11-5177/TB)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

杂志详情