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真空科学与技术学报杂志

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真空科学与技术学报 2005年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文
热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测第159-163页
关键词: 金刚石膜;  热丝化学气相沉积;  参数优化;  相图;  
SiO2/Si衬底制备ZnO薄膜及表征第164-167页
关键词: zno薄膜;  脉冲激光沉积;  光致发光;  
基于小波神经网络预测单个碳纳米管的场增强因子和开启电压第168-171页
关键词: 碳纳米管;  场发射;  小波神经网络;  场增强因子;  开启电压;  
大面积应用的RF-PECVD技术研究第172-176页
关键词: 大面积;  均匀性;  双移动电极;  
三种铁电阴极材料电子发射性能试验研究第177-180页
关键词: 铁电阴极材料;  锆钛酸铅;  钛酸铋钠;  钛酸钡;  电子发射;  
纳米级FePt/Fe多层膜中微结构的优化与耦合效应第181-184页
关键词: fept多层膜;  交换弹性;  磁能积;  
单根Ag(TCNQ)微/纳米结构的光致变色特性研究第185-188页
关键词: 物理电子学;  光致变色;  raman光谱;  
STM“接触”式测量中的整流效应第189-191页
关键词: stm;  接触模式;  整流效应;  有机电子器件;  
PECVD法制备a-Si1-xCx:H薄膜的结构及光学性能研究第192-195页
关键词: 光学带隙;  
激光分子束外延BaTiO3/SrTiO3超晶格的晶格应变研究第196-199页
关键词: 晶格应变;  超晶格;  脉冲激光分子束外延;  反射式高能电子衍射;  
用DBD-PECVD方法合成碳纳米管第200-203页
关键词: 碳纳米管;  介质阻挡放电;  等离子体增强化学气相沉积;  镍催化;  
真空科学与技术学报杂志综述评论
溅射沉积技术的发展及其现状第204-210页
关键词: 溅射沉积;  磁控溅射;  非平衡磁控溅射;  脉冲溅射;  
真空科学与技术学报杂志技术交流
脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜第211-213页
关键词: linbo3;  c轴取向;  脉冲激光沉积;  
一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置第214-216页
关键词: 压阻式压力传感器;  硅芯片;  pyrex7740;  静电键合;  简易装置;  
恒压式气体微流量计的性能测试第217-221页
关键词: 气体微流量计;  性能评价;  流量测量;  流量标准;  校准;