作者：达道安; 张华林; 闫少光轨道分子屏极高真空可变极限压力理论模型压力曲线关系曲线工作区域技术应用表达式翼角
摘要：本文提出可变翼极高真空轨道分子屏的概念,建立了理论模型,推导出了压力表达式,计算了该分子屏的极限压力及压力曲线,翼长、翼角和压力的关系曲线.结果表明:可变翼极高真空轨道分子屏选择一定长度的翼及适当的翼角,可获得比普通分子屏低一个多量级的极限压力,达到10-13 Pa,低压工作区域也扩大了4～5倍.可变翼极高真空轨道分子屏理论的建立,会推动分子屏技术应用的发展.
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