作者：陈小锰; 邓新绿; 张治国; 刘天伟; 丁万昱...等离子体特性ecr等离子体增强化学气相沉积微波膜性能等离子体密度结构和性能dlc膜均方根粗糙度电子温度类金刚石膜工艺研究工作气压沉积条件变化曲线拉曼光谱探针法ch4表面
摘要：为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系.DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长.本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响.
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