作者：魏贤华; 张鹰; 邓新武; 黄文; 李金隆; 李...表面扩散退火过程薄膜厚度rheedsrtio3粒子振荡周期激光分子束外延反射高能电子衍射驰豫时间
摘要：用激光分子束外延研究了SrTiO3同质外延时原位退火中,反射高能电子衍射(RHEED)强度的恢复--驰豫时间,导出了高真空下表面扩散的活化能为0.31 eV,与低真空下的结果相比要小许多,这反映了粒子达到基片时的能量差.对沉积不同厚度的薄膜退火研究,表明当薄膜厚度增加时,表面恢复情况减弱,而导致随后的沉积时RHEED振荡周期的改变.
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