氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究

作者：郭军; 党军杰; 李建青; 张浩; 崔嵩氮化铝激光陶瓷加工切割深度

摘要：本研究阐述了氮化铝(AlN)陶瓷激光切割的工作原理,并通过对影响AlN陶瓷激光切割深度的激光功率、频率、脉宽、加工速度以及辅助气压等工艺参数因素进行试验和分析,得出了光纤激光切割氮化铝陶瓷材料的最优参数范围。

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