片上电子源的研究现状(一)

作者：杨威; 魏贤龙片上电子源场发射内场发射热发射

摘要：本文主要回顾总结近数十年来片上电子源的研究工作及最新进展,包括场发射片上电子源、内场发射片上电子源以及新型热发射微型片上电子源。本文从这些片上电子源的基本原理、加工制备以及工作性能(包括工作电压、工作真空、发射电流、发射电流密度和发射效率)等方面进行比较,分析各种片上电子源的优劣点,为片上电子源的发展现状做一个简单的总结。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社