作者：张以忱电弧蒸发电离碰撞阴极电弧电弧放电等离子体永磁体电子温度真空离子镀膜
摘要：电弧放电等离子体的参数主要有电子温度7;、电离强度乂、电场强度E、带电粒子密度«.(=心)及等离子体电位U及阳极电流。
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