HI,欢迎来到学术之家,发表咨询:400-888-7501  订阅咨询:400-888-7502  股权代码  102064
0

第二十讲真空离子镀膜

作者:张以忱高真空离子镀膜空心阴极效应辉光放电电压下降高熔点金属氩离子轰击电流密度

摘要:如图21所示,用高熔点金属钽(或钨)管做阴极,坩埚做阳极,待真空室抽至高真空后,钽管中通过氩气,首先用数百伏电压点燃气体产生阴极辉光放电。由于空心阴极效应,钽管中电流密度很大,大量的氩离子轰击钽管管壁,使钽管温度升高至2300K以上,钽管发射大量热电子,放电电流迅速增加,电压下降,辉光放电转变为弧光放电。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

真空

《真空》(CN:21-1174/TB)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《真空》社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

杂志详情