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三叶转子罗茨真空泵内气体过程的热力学计算

作者:翟云飞; 张世伟; 韩峰; 赵凡; 谢元华三叶罗茨真空泵热力过程解析计算时序分析

摘要:本文以三叶转子罗茨泵为研究对象,从其基本结构和工作原理出发,对泵内被抽气体的输运过程进行热力学分析。对被抽气体在泵内经历的过程作时序分析,将其分解为吸气、输运、反冲、排气四个阶段,详细讨论各个阶段的特点和机理。应用热力学基本原理,建模计算气体返流量,对吸气、输运、排气进行定量分析,得到被抽气体的压强、容积、总质量、总内能等热力学参数随时间变化的计算公式;探究排气功率与进出口压力之间的关系。

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真空

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