作者：赵帅锋; 吕少波; 王瑞生; 姜超; 胡雯雯; ...parms直接光控双通带滤光片
摘要：以Nb_2O_5和SiO_2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm＆BP687nm超多层膜系干涉滤光片。采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1%,并在PARMS镀膜机上进行镀制。制造光谱结果：双通带滤光片波长定位精度均小于±2nm,峰值透过率高于95%,截止区300-950nm背景优于OD6,完全满足荧光检测的成像需求。
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