作者：何飞; 张勇; 吕海兵; 卢伟; 乔江江; 李争...电子束电子枪高压放电绝缘
摘要：电子枪是电子束蒸发设备的核心部件,其结构复杂,一旦出现故障,对热障涂层的制备和设备的使用都有影响.出现的故障中,以高压放电现象最为严重.结合电子束蒸发设备以及电子枪工作原理,对生产实际中出现的高压放电现象进行归纳分析,确定高压放电的产生路径,分析路径中设备高压放电现象产生的原因、绝缘类型和造成的影响,提出消除高压放电的解决方案或预防措施,以提高电子束蒸发设备的利用率.
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