作者：张以忱溅射镀膜反向电压触发电压弧光放电真空电感线圈直流电源电子开关
摘要：接2017 年第4 期第80 页） 图 84 是自动灭弧 A2K 电源的原理简图,在直流电源和靶之间增加一个称为 SPARC-LE 部件和一个电感线圈,然后用一个脉冲开关控制器来控制电源的运行,串联电感的作用是：当出现一次弧光放电或电子开关动作（中断电流）时,在电感两端将触发一个反电势, 施加一个反向电压, 这个电压将释放引起弧光放电的积累电荷.溅射电压与电感触发电压约为8：1 的关系. 例如：运行中阳极电压为500 V时,反向电压为62 V.如果由于弧光放电引起电压倒向的过程, 称为＂自触发＂运行模式. 仅仅只是自触发运行模式,对整个溅射过程仍然不够稳定,如果加上电子开关定期地触发反向电压,即使偶然有弧光放电出现,其灭弧功能更加可靠.
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