作者：张以忱电位降靶面阴极溅射电源输出电压绝缘膜溅射系统反应气体反应溅射反应磁控溅射阴极表面
摘要：③弧光放电 如前所述,在直流反应磁控溅射沉积化合物薄膜时,阴极溅射靶会出现靶中毒现象,即在靶面上建立起愈来愈高的正电位Up,而在一定的靶电源输出电位下,靶阴极位降区的电位降随着Up的升高而降低,直到阴极位降区的电位降减小到零,导致放电熄灭,溅射停止。
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