作者：张以忱靶面回旋半径溅射镀膜复振荡速度分量磁控溅射电漂移三维方向三维运动中心线
摘要：（接2016年第2期第80页） 由此得出电子在磁控溅射中磁场作用域内三维方向的自由运动情况（即不考虑与其它粒子相互碰撞等作用）如下： x方向（横向：跑道断面与靶水平的方向,指向内侧的为正）：围绕磁力线的在两极间的变幅螺旋往复振荡（在两极附近回旋半径最小,在走廊中心线处回旋半径最大,其本身就是xyz的三维运动）;y方向（竖向：垂直靶面的方向,离开靶面朝外的方向为正）：
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