作者：张以忱溅射镀膜磁场结构真空组合磁路磁路系统空间弯曲磁力线利用率
摘要：（接2016年第1期第80页）b.组合磁路改进磁场结构,用组合磁场代替传统的单一磁场,其目的是更有利于放电的稳定（离化率高）和增宽靶材的刻蚀区,提高靶材的利用率。图42是传统磁控源的磁场结构原理图。为单一磁路系统,磁力线的方向都是垂直靶面的,依靠磁力线在空间弯曲,
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